| 潔凈度等級ISO等級 | 氣流流型 | 平均風(fēng)速（m/s） | 單位面積送風(fēng)量（m3/m2.h） | 應(yīng)用實(shí)例 |
| 2 | 單向流流型 | 0.3-0.5 | / | 光刻，半導(dǎo)體工藝區(qū) |
| 3 | 單向流流型 | 0.3-0.5 | / | 工作區(qū)，半導(dǎo)體工藝區(qū) |
| 4 | 單向流流型 | 0.3-0.5 | / |
工作區(qū)，多層掩膜工藝、密盤制造半導(dǎo)體服務(wù)區(qū)、動(dòng)力區(qū) |
| 5 | 單向流流型 | 0.2-0.5 | / | |
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6 |
非單向流流型 | 0.1-0.3 | / |
動(dòng)力區(qū)、多層工藝、半導(dǎo)體服務(wù)區(qū) |
| 單向流流型或非單向 | / | 70-160 | ||
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7 |
非單向流流型 | / | 30-70 |
服務(wù)區(qū) |
| 單向流流型或非單向 | / | |||
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8 |
非單向流流型 | / | 10-20 |
表面處理 |
| 單向流流型或非單向 | / |
圖一 微電子潔凈室實(shí)例-人員凈化程序
